一种用于超低泄漏旅检测的气体样品富集装置及方法

    本发明涉及一种气体样本的富集装置及方法，具体地说是一种用于超低泄露率检测的气体样品富集装置及方法，设有腔体、机械泵，其中腔体上设有腔门、进气管、排气管以及出气管，机械泵经排气管与腔体相连接，进气管、排气管和出气管上分别设有进气阀门、排气阀门和出气阀门，其特征在于腔体内设有与腔门平行的隔板，隔板将腔体分为富集腔和缓冲腔，其中临近腔门的为缓冲腔，隔板上设有富集腔门以及连通富集腔和缓冲腔的换气管，换气管上设有换气阀门，出气管与富集腔相连接，富集腔和缓冲腔分别设有真空规，其中出气阀门、换气阀门以及与富集腔相连接的真空规均位于缓冲腔内，本发明具有结构合理、使用方便，能提高检测准确性等优点。